电子厂废气处理方法

　　1.电子厂废气概述

　　随着电子行业的快速发展，生产电子元器件过程中所产生的废气污染也随之而来。在电子行业中造成环境污染有机废气主要是产生于芯片或线路板生产的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影等过程中。电子厂废气主要为有机废气和酸碱废气两类。有机类有：非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等；酸碱类有：氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。这些污染气体会造成人群慢性或急性中毒。所以必须处理达标才能排放。

　　2. 电子厂废气处理方法

　　电子厂废气成分为酸碱废气和有机废气两大类，因此电子废气处理方法分为酸碱废气处理方法和有机废气处理方法。下面天浩洋小编详细介绍电子废气处理方法。

　　2.1酸碱废气处理方法

　　（1）酸性废气处理方法—碱液吸收法

　　酸性废气由风管引入碱洗塔，经过填料层，废气与氢氧化钠吸收液进行气液两相充分接触吸收中和反应，酸性废气经过净化后，再经除雾板脱水除雾后由风机排入大气。吸收液在塔底经水泵增压后在塔顶喷淋而下，最后回流至塔底循环使用。该设备耐腐蚀，使用寿命长，耗水、耗电指标较低，且占地少，安装方便，易于维护。

　　（2）碱性废气处理方法—酸液吸收法

　　碱性废气由风管引入酸洗塔，经过填料层，废气与稀硫酸吸收液进行气液两相充分接触吸收中和反应，碱性废气经过净化后，再经除雾板脱水除雾后由风机排入大气。吸收液在塔底经水泵增压后在塔顶喷淋而下，最后回流至塔底循环使用。该设备耐腐蚀，使用寿命长，耗水、耗电指标较低，且占地少，安装方便，易于维护。

　　2.2电子厂有机废气处理方法

　　目前针对有机废气处理方法有很多种，常见有机废气处理方法主要有活性炭吸附法、等离子法、热力燃烧和催化燃烧法、UV光解法。

　　（1）活性炭吸附法

　　利用吸附剂（活性碳、硅胶、分子筛等）对废气中有机组分的高效吸附性能，使废气通过吸附剂层后得以净化。最常用的吸附技术采用的吸附介质是活性炭（棒状或颗粒活性炭）。吸附法净化效率高（随着吸附剂的饱和，净化效率逐渐降低）、运行费用高（更换吸附剂的成本非常高）、投资成本低、给环境带来固体废弃物的二次污染。目前主要应用于大风量、低浓度（≤800mg/m3）、无颗粒物、无粘性物、常温的有机废气净化处理。

　　（2）等离子法

　　利用介质阻挡放电过程中，等离子体内部产生富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，最终转化为 CO2 和 H2O 等物质，从而达到净化废气的目的。目前市场上很多低温等离子名义上是电力废气，实际是电离空气产生臭氧，利用臭氧的强氧化性来进行废气处理。低温等离子的放电效果和空气的湿度有极大的关系，湿度越大能耗越大，大量能量会被水分子吸收，从而降低电离效果。使用低温等离子处理废气，废气直接经过放电系统，对于易燃易爆气体带来很大安全隐患，容易造成火灾等重大安全事故。

　　（3）催化燃烧法

　　一般适用于有机废气浓度在 2000-5000mg/m3之间，有机废气在催化剂（钼、铂、钯等贵金属）作用下进行低温氧化无焰燃烧，将有机成分氧化为 CO2和 H2O 产物。特点：无火焰燃烧，易控制，燃烧控制温度较低（250～300℃之间），外加热能消耗少，不同的废气组分须选择不同形式的催化剂及燃烧工艺。进入催化燃烧装置的气体必须经过过滤处理和预热处理，使废气温度达到催化剂的起燃温度（220-250℃之间），除去粉尘颗粒物及液滴等催化抑制剂，避免催化床层的堵塞和催化剂的中毒失效。

　　（4）UV光解法

　　通过采用 UV-D 波段内的真空紫外线（波长范围 170-184.9nm），破坏有机废气分子的化学键，使之裂解形成游离状态的原子或基团（C*、H*、O*等）；同时通过裂解混合空气中的氧气，使之形成游离的氧原子并结合生成臭氧【UV＋O2→O-+O＊(活性氧) O+O2→O3(臭氧)】。具有强氧化性的臭氧（O3）与有机废气分子被裂解生成的原子发生氧化反应，形成 H2O 和 CO2。整个反应过程不超过 0.1 秒，净化效果与废气分子的键能、废气浓度以及含氧量有关。整个净化过程无需添加任何化学助剂或者特殊限制条件。

　　以上四种废气处理方法都可处理有机废气，但要根据企业的各自要求以及环保局的认可程度，相应选择废气处理设备。

　　3.废气处理工艺选择与说明

　　采用活性炭吸附，饱和时间会很短，如果不及时更换活性炭，堵塞的活性炭会造成排气系统的失衡，从而影响正常生产甚至引发安全事故。同时更换活性炭的工作量很大，产生的废弃活性炭又形成了新的固废污染。故亦不建议采用。

　　采用低温等离子处理废气，废气会直接经过放电系统，对于易燃易爆气体带来很大安全隐患，容易造成火灾等重大安全事故。故亦不建议采用。

　　通过热力燃烧或者催化燃烧法处理有机废气，其净化率是比较高的，但是其投资运营成本极高。因废气排放的点多且分散，很难实现集中收集。燃烧装置需要多套且需要很大的占地面积。热力燃烧比较适合 24 小时连续不断运行且浓度较高而稳定的废气工况，不适合间断性的生产产线工况。催化燃烧的投资和运营费用相对热力燃烧较低，但净化效率也相对较低一些；但贵金属催化剂容易因为废气中的杂质（如硫化物）等造成中毒失效，而更换催化剂的费用很高；同时对废气进气条件的控制非常严格，否则会造成催化燃烧室堵塞而引起安全事故。故从生产线状况、经济性和安全性等因素考虑，不建议采用热力燃烧或者催化燃烧。

　　UV 光解净化技术针对有机废气，能实现高效稳定的净化。不需要添加任何化学助剂或者特殊限制条件，设备占地面积小，基本可实现免维护，运行费用较燃烧法和低温等离子要低。设备安全、防爆。

　　由于项目所处地理位置和废气源物质的特性，故需要极高的净化率和稳定性，整体投资、运营费用相对合理。当然这些都应该建立在安全的基础之上。

　　以上对于电子厂废气处理方法以及工艺介绍，希望可以帮到您，其实对于电子厂废气处理，一般是需要根据废气的浓度、产生量、如何收集等方面进行设计。如果您有电子厂废气需要进行处理，可以随时咨询天浩洋环保,为您提供废气处理方案或者技术指导。